大福洁净室单轨光罩输送系统

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“洁净室单轨光罩输送系统”由于机身较低，被广泛应用于狭窄环境中光罩的搬送。该系统采用非接触式供电，最高搬运速度可达200米/分。在分支与合流前无需停车，保持运转顺畅。